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用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法及电解质膜

925   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:15:32
本发明公开了一种用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法，包括如下步骤：提供Si衬底；制备Li2O和TiO2的混合物靶材，并在混合物靶材上贴敷La2O3片，在Si上沉积LiLaTiO层；以Li3PO4为靶材，利用反应磁控溅射，在LiLaTiO层上沉积第一LiPON层；以Li3PO4为靶材，利用反应磁控溅射，在第一LiPON层上沉积第二LiPON层；制备Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材；以Li3PO4与Si3N4的第一混合物靶材，利用磁控溅射，在第二LiPON层上沉积第一LiSiPON层；制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材；以及制备Li3PO4与Si3N4的第二混合物靶材，利用磁控溅射，在第一LiPON层上沉积第二LiSiPON层。本发明通过晶格结构的渐变设计，达到了较好的能带结构，提高了材料电导率性能，最终能够显著提高全固态锂离子电池的性能。
声明：
“用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法及电解质膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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