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超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置

847   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:15:32
本实用新型公开了一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置，包括铂金坩埚和籽晶杆；铂金坩埚外包覆保温层；保温层与铂金坩埚之间设有硅钼棒，硅钼棒纵向对称排列；籽晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中熔体上方；铂金坩埚的上方设有螺旋形的水冷管，水冷管底部水平方向上的管距离大于顶部水平方向上的管距；水冷管底端水平方向上的管距大于或等于铌酸锂晶体的直径；籽晶杆贯穿水冷管中央形成的空间；水冷管的底部设有进水管、顶部设有出水管，进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通；水冷管上还设有控制水冷管上下移动的升降杆，升降杆贯穿保温层。本实用新型能够解决溶体对流缓慢，晶体生长界面处温度梯度小等问题，适合8～12英寸晶圆的制备。
声明：
“超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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