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超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置

895   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 22:15:32
本实用新型公开了一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置,包括铂金坩埚和籽晶杆;铂金坩埚外包覆保温层;保温层与铂金坩埚之间设有硅钼棒,硅钼棒纵向对称排列;籽晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中熔体上方;铂金坩埚的上方设有螺旋形的水冷管,水冷管底部水平方向上的管距离大于顶部水平方向上的管距;水冷管底端水平方向上的管距大于或等于铌酸锂晶体的直径;籽晶杆贯穿水冷管中央形成的空间;水冷管的底部设有进水管、顶部设有出水管,进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通;水冷管上还设有控制水冷管上下移动的升降杆,升降杆贯穿保温层。本实用新型能够解决溶体对流缓慢,晶体生长界面处温度梯度小等问题,适合8~12英寸晶圆的制备。
声明:
“超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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