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用于制备晶态含锂化合物的气相沉积方法

710   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:15:02
一种用于制备晶态含锂过渡金属氧化物化合物的气相沉积方法，包括：提供该化合物的每个组分元素的蒸气源，该蒸气源包括至少锂源、氧源和一种或多种过渡金属的一个或多个源；将基材加热至大致150℃和大致450℃之间；以及向已加热的基材上共沉积来自蒸气源的组分元素，其中该组分元素在该基材上反应以形成晶态化合物。
声明：
“用于制备晶态含锂化合物的气相沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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