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周期极化钛扩散近化学计量比铌酸锂条形波导及制备方法

742   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:15:00
本发明公开了一种周期极化钛扩散近化学计量比铌酸锂条形光波导制备方法，该方法包括：样品准备、光刻、溅射钛金属薄膜、剥离、钛金属膜预扩散、富锂VTE处理、光波导端面抛光、周期极化共八个步骤。与现有技术相比，本发明制备的光波导，具有优良性能：损耗小，晶体缺陷少，光学均匀性好，且在波长变换中能具有独特的优点：速度快，噪声低，效率高，无啁啾，而且以相同的效率同时向下、向上转换多个波长，能实现全透明变换。
声明：
“周期极化钛扩散近化学计量比铌酸锂条形波导及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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