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锂铒共掺制备近红外发光ZnO薄膜的方法

1069   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:12:07
本发明公开的锂铒共掺制备近红外发光ZnO薄 膜的方法，步骤如下：1)按ZnO∶ Er2O3∶ Li2CO3的摩尔比为95～98∶1～2.5∶1～2.5，取纯ZnO、 Er2O3和 Li2CO3粉末，球磨混合后放到硅碳棒炉中在700～900℃下预烧， 加入粘结剂碾磨压制成型，烧结得陶瓷靶材；2)将靶材放到脉 冲激光沉积装置的生长室中，在衬底上生长含铒的ZnO薄膜； 3)含铒的ZnO薄膜在700～1500℃、氧气氛中退火。本发明以 ZnO、 Er2O3和 Li2CO3粉末为原料，成本低廉，工艺简单。制得的锂铒共掺ZnO 薄膜能有效地提高在1.5μm处的光致发光强度，不仅晶体质 量好，且具有较好的表面形貌。
声明：
“锂铒共掺制备近红外发光ZnO薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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