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直线型补锂设备

665   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:11:14
本实用新型涉及一种直线型补锂设备，包括补锂腔室及设于其内的放卷装置、收卷装置、至少两个靶材安装机构组及基片加热机构；放卷装置、收卷装置用于对待补锂的基片放卷、收卷；至少两个靶材安装机构组用于安装补锂的靶材且设于放卷装置与收卷装置之间，至少两个靶材安装机构组分别用于与放卷装置与收卷装置之间的基片的两个侧表面对应设置；各组内的靶材安装机构的数量均为多个，且同一组内的多个靶材安装机构在自放卷装置至收卷装置的方向上依次呈直线分布；基片加热机构包括加热安装机构及设于加热安装机构上的加热片，加热安装机构设于各组内的相邻两个靶材安装机构之间，加热片用于对放卷装置与收卷装置之间的基片加热。
声明：
“直线型补锂设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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