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铌酸锂周期光栅结构的制备方法

760   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:10:51
本发明公开一种铌酸锂周期光栅结构的制备方法。该方法选取合适尺寸的Y36°和Y128°切向的同成份铌酸锂晶片作为基底，在225℃下质子交换3个小时，然后采用湿法刻蚀的方法，即将样品放入HF‑HNO3混合刻蚀液中10个小时，得到周期光栅结构。本发明基于湿法刻蚀法制作周期光栅，该制作方法操作简便，无需掩模光刻，刻蚀的选择性好，成本较低，有利于推广和应用。
声明：
“铌酸锂周期光栅结构的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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