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锂离子电池锡钛薄膜负极的磁控溅射制备方法

652   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:10:50
本发明属于化学电源领域,具体涉及锂离子电池用锡钛薄膜负极的磁控溅射制备方法。其特征在于,使用纯锡和纯钛两个靶交替溅射或者共溅射制备锡钛薄膜,然后在室温至300℃间保持0-6h退火处理。在两靶交替溅射方法中,交替次数大于1时,根据首先溅射的物质,可以形成Sn/Ti或Ti/Sn叠层膜。本发明所公开的方法工艺简单,成本低,有利于环保;所制备的薄膜用作锂离子电池负极,具有较高的比容量和优异的循环性能。
声明：
“锂离子电池锡钛薄膜负极的磁控溅射制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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