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锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备

1072   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:10:49
本实用新型公开了一种锂离子电池材料的连续式化学气相沉积设备，要解决的技术问题是精确控制包覆层的膜厚。本实用新型设有反应室、传动装置、沉积装置，反应室为可移动装置，传动装置为传输带循环式传动机，整个传动装置穿置于两端为敞口的四周封闭的分别为预热段、沉积段和降温段的流程通道内。本实用新型与现有技术相比，采用传动装置和可移动式反应室，实现自动化学气相沉积工艺，使反应气体可与粉状基体的各个表面相触，最终在其表面上形成均匀的结晶薄膜层，实现了对粉状基体进行包覆的加工工艺，工艺简单，容易精确控制包覆层的厚度，生产效率高，降低了锂离子电池电极材料的最终成本，有效保护环境。
声明：
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