一种功能复用集成铌酸锂波导电光调制器,属于光电子、光通信、微波光子学等应用领域。包括输入光纤、铌酸锂波导
芯片和输出光纤,其中铌酸锂波导芯片由分束耦合区、强度调制区、相位调制区构成,分束耦合区采用加入特定长度直波导的级联Y分支结构,将一路光分为多路光后进入强度调制区;强度调制区采用马赫增德尔干涉仪结构,强度调制区后的相位调制区采用直波导和共面电极阵列实现每个通道的相位调制。本发明将分束器、强度调制器以及相位调制器有机地集成到一片芯片上,不仅克服了独立器件复杂连接导致的系统体积大、性能差、成本高等不足,而且可以实现光的分束耦合、选择性光开关、相位调制、边带调制等多种功能,是未来集成光学发展的趋势。
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