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铌酸锂电光器件厚膜导线电极的制作方法

1045   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:09:49
本发明公开了一种铌酸锂电光器件厚膜导线电极的制作方法，包括以下步骤：S1：在带有质子交换波导的铌酸锂基片上镀金属种子层，获得金属化基片，所述金属种子层分为两层，下层为粘附力增强层，上层为纯度不低于99.99％的金层；S2：在金属化基片上旋涂光刻胶，经烘烤、曝光、显影，获得形如电极的光刻胶图案；S3：将带有光刻胶的金属化基片浸没于金电镀液中电镀；S4：使用去胶液去除光刻胶，形成隆起的电极图案；S5：先去除金属种子层的金层，再去除粘附层，完成厚膜导线电极的制备。本发明既克服了厚膜电极应力过大的问题，又解决了贵金属的大量浪费问题。
声明：
“铌酸锂电光器件厚膜导线电极的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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