实用新型属于锂离子沉积加工领域,具体的说是一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置,包括底座和空气压缩机,所述底座的上方安装有静电环,且静电环的上方安装有连接块,所述空气压缩机的右侧安装有连通管,且空气压缩机位于连接块的上方,所述连通管的右侧安装有第一齿轮轴,且第一齿轮轴的右侧安装有第二齿轮轴,所述第二齿轮轴的右侧安装有转动机;本实用新型通过设置有电机轴,可以配合第一转轴和轴承,能够保证设备在进行离子的加工时化学气相沉积工作时更加的均匀,电极轴沿轴承的底部均匀分布,可以在进行锂离子的旋转时可以更加的高效,在进行化学气相沉积时,防止离子在设备内部的堆积,有效设备的工作的效率。
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