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钽酸锂薄膜红外探测器及制法

860   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 21:52:07
本发明涉及钽酸薄膜红外探测器及制法。本发明包括:一红外滤波窗口,一谐振斩波调制器,一聚焦透镜,一热释电钽酸锂薄膜红外探测头,一热沉腔体,一前置放大器,一低通滤波器,一电源及信号输出接口,一壳体,一环境温度探测补偿器。探测器制法,包括:选基底,在其正反面生长SiO2层,依次在正面沉积Si3N4层,溅射Ti层,溅射光刻Pt电极层,制备钽酸锂薄膜层,沉积光刻Al电极层,生长光刻SiNX抗反射层,溅射黑层,完成制作双元结构红外探头。聚焦透镜上涂防反射膜。红外窗口贴窄带滤波膜。前置放大器用JFET管或运放搭建。低通滤波器由运放搭建。谐振斩波调制器用压电驱动,或电磁驱动,谐振频率为1Hz~1000Hz。
声明:
“钽酸锂薄膜红外探测器及制法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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