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钽酸锂薄膜红外探测器及制法

654   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:52:07
本发明涉及钽酸锂薄膜红外探测器及制法。本发明包括：一红外滤波窗口，一谐振斩波调制器，一聚焦透镜，一热释电钽酸锂薄膜红外探测头，一热沉腔体，一前置放大器，一低通滤波器，一电源及信号输出接口，一壳体，一环境温度探测补偿器。探测器制法，包括：选基底，在其正反面生长SiO2层，依次在正面沉积Si3N4层，溅射Ti层，溅射光刻Pt电极层，制备钽酸锂薄膜层，沉积光刻Al电极层，生长光刻SiNX抗反射层，溅射黑层，完成制作双元结构红外探头。聚焦透镜上涂防反射膜。红外窗口贴窄带滤波膜。前置放大器用JFET管或运放搭建。低通滤波器由运放搭建。谐振斩波调制器用压电驱动，或电磁驱动，谐振频率为1Hz～1000Hz。
声明：
“钽酸锂薄膜红外探测器及制法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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