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基于铌酸锂单晶薄膜的声学纵向剪切波谐振器

748   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:52:06
本发明公开了一种基于铌酸锂单晶薄膜的声学纵向剪切波谐振器，所述谐振器自上而下依次包括叉指电极层、压电薄膜层、底电极层以及基底；其中，压电薄膜层的材质为单晶铌酸锂，该单晶铌酸锂的切向为X切，30°Y方向。本发明采用了X‑cut，30°Y传LN，此切向的LN具有最大的机电耦合系数，并且将金属电极的厚度尽可能做薄。本发明中的YBAR可以实现55％的机电耦合系数。
声明：
“基于铌酸锂单晶薄膜的声学纵向剪切波谐振器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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