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制备烷基硅烷及三氯化硼回收溶剂联产氯化锂的方法

637   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:52:04
本发明涉及电子特气制造技术领域，公开的一种制备烷基硅烷及三氯化硼回收溶剂联产氯化锂方法，采用的制备系统，包括:烷基硅烷合成系统、溶剂回收及氯化锂制备系统、三甲基硅烷和氯化硼制备系统、二甲基硅烷制备系统、甲基硅烷制备系统，烷基硅烷合成系统第一出口端通过管道与溶剂回收及氯化锂制备系统联通，烷基硅烷合成系统第二出口端通过管道与三甲基硅烷及氯化硼制备系统联通，三甲基硅烷及氯化硼制备系统冷凝出口端通过管道与二甲基硅烷制备系统联通，二甲基硅烷制备系统冷凝出口端通过管道与甲基硅烷制备系统联通。本发明能够使各种物料都得到充分利用，无易燃易爆易腐蚀副产物产生，无废弃物排放，具有环境友好的优点。
声明：
“制备烷基硅烷及三氯化硼回收溶剂联产氯化锂的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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