本发明涉及一种全固态薄膜锂离子电池用电解质薄膜的制备方法,电解质薄膜为非晶无定形态的锂磷氧氮薄膜,该制备方法采用射频磁控溅射方法。本发明方法制备的LiPON薄膜为非晶无定形态,离子电导率大于2×10?6S/cm,并且具有热力学稳定性好和
电化学窗口宽等良好的电化学性能,是非常理想的固体电解质材料,特别适于生产体积小、高能量密度、寿命长的全固态薄膜锂离子电池。
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