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铌酸锂基混合集成光纤陀螺光学芯片

623   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:43:06
本发明公开了一种铌酸锂基混合集成光纤陀螺光学芯片，包括铌酸锂波导芯片、光源及信号探测器，其中铌酸锂波导芯片包括相互连通的第一Y分支波导、第二Y分支波导、三个90°圆弧波导、锥形波导和直波导，锥形波导的宽端作为光学芯片的光输入端口，光源正对光输入端口，直波导的一端作为光学芯片的信号输出端口，信号探测器的光敏面正对信号输出端口；该光学芯片的制备工艺主要采用光刻的方法，结合干法刻蚀技术、钛扩散及退火质子交换技术获得；该集成芯片替代了传统光纤陀螺中分立的光学器件，将光源、探测器、耦合器及调制器集成在一个铌酸锂基片上，提高光纤陀螺光学系统的集成度，从而提高光纤陀螺的可靠性和环境适应性。
声明：
“铌酸锂基混合集成光纤陀螺光学芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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