本发明公开了一种钽酸锂基片黑化方法,包括以下步骤:钽酸锂基片通过C粉或石墨粉埋覆在石英槽或耐高温金属槽中;在低真空度还原炉内,通入带水蒸气的,还原反应炉温度控制在450‑500℃,恒温3~10h;与C粉发生反应生成、CO与钽酸锂基片进行还原反应,尾气处理后排放;还原反应结束后取出钽酸锂基片。本发明提出的钽酸锂晶片黑化工艺方法,原材料C价格便宜成本低,通过反应生成的H2、CO大部分与钽酸锂发生还原反应,效率高且生产安全。
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