本发明公开了一种锂离子电池多孔硅薄膜负极结构的制备方法,包括如下步骤:(1)在铜箔表面制备一层硅薄膜;(2)在硅薄膜表面制备一层均匀分布的催化金属颗粒;(3)将覆盖有催化金属颗粒的一面置于氢氟酸和氧化剂的混合溶液中进行腐蚀从而在硅薄膜上制备孔洞结构;(4)对腐蚀后的硅薄膜进行去除催化金属颗粒处理并烘干;(5)依次重复步骤(1)至(4)n次。本发明还提供了上述方法制备得到的锂离子电池多孔硅薄膜负极结构。本发明制备的多孔硅薄膜负极结构因其每层硅薄膜中都均匀分布了纳米孔洞,因此对于整体硅薄膜负极而言,其内部孔洞分布非常均匀,这可有效缓解硅薄膜的储锂膨胀效应,提升其循环稳定性。
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