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铌酸锂单晶基板及其制造方法

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:35:40
本发明提供一种对温度、时间等处理条件的管理容易，且体积电阻率的面内分布极少的铌酸锂(LN)基板及其制造方法。上述制造方法是使用通过切克劳斯基法培育出的铌酸锂单晶来制造LN基板的方法，其特征在于，将单晶中的Fe浓度为50质量ppm以上且1000质量ppm以下并被加工成基板状态的LN单晶埋入Al粉末或者Al和Al2O3的混合粉末中，在350℃以上且小于450℃的温度进行热处理，从而制造出体积电阻率被控制在大于1×1010Ω·cm且2×1012Ω·cm以下的范围的铌酸锂单晶基板。
声明：
“铌酸锂单晶基板及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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