一种硅‑铌酸锂混合集成偏振分束旋转器,包括:两个级联的定向耦合器,两定向耦合器通过一个S弯波导级联,从而实现对TE和TM两种偏振模式的传输和转换,其中:第一定向耦合器包括:两个90°的弯曲波导,通过优化弯曲波导的宽度和部分刻蚀的宽度改变两个弯曲波导的等效折射率,当满足相位匹配条件时得到最优解;第二定向耦合器包括:两个宽度相等的直波导,其级联在由弯曲波导构成的定向耦合器之后。本发明实现了铌酸锂薄膜与硅基光子器件的键合,偏振分束旋转器是实现高性能硅‑铌酸锂异质集成光电调制器的关键器件,解决了调制
芯片中偏振耦合串扰的问题,能够实现低损耗、大容量、大带宽的信息互联。
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