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钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法

1042   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:32:17
本发明公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本发明对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二，和底部金属电极共同构成了两个热释电探测器敏感元，顶部电极通过图案化处理，预留引线键合区域，降低工艺制程风险，通过磁控溅射进行钽酸锂敏感元的沉积代替研磨抛光法，简化了制备工艺，降低了制程难度，兼容半导体工艺，并且可以通过沉积得到厚度更薄的敏感元，探测器的响应性能更优异，在底部电极和衬底之间增加热绝缘膜层，可以降低钽酸锂敏感元的热损耗，提高器件对红外辐射的吸收和响应。
声明：
“钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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