合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法

钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法

1086   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:32:17
本发明公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本发明对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二，和底部金属电极共同构成了两个热释电探测器敏感元，顶部电极通过图案化处理，预留引线键合区域，降低工艺制程风险，通过磁控溅射进行钽酸锂敏感元的沉积代替研磨抛光法，简化了制备工艺，降低了制程难度，兼容半导体工艺，并且可以通过沉积得到厚度更薄的敏感元，探测器的响应性能更优异，在底部电极和衬底之间增加热绝缘膜层，可以降低钽酸锂敏感元的热损耗，提高器件对红外辐射的吸收和响应。
声明：
“钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：基于MIAUKF算法的锂离子电池荷电状态估计方法
下一个：原位生成二氧化硅复合固态聚合物电解质及其在锂电池中的应用

与 “钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法” 相关技术

▪ 移动式混汞提金设备固液分离装置
▪ 石墨选矿用烘干装置
▪ 保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪ 电加热回转烘干装置
▪ 环保工程污水处理超滤膜技术
▪ 强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

相关加工设备推荐

ORZ材料低成本深度除油技术及装备
有机合成电解槽
定制高温箱式炉
双温区真空管式炉
可调式结晶器
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪移动式混汞提金设备固液分离装置
▪石墨选矿用烘干装置
▪保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪电加热回转烘干装置
▪环保工程污水处理超滤膜技术
▪强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

报名参会
更多+

2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:223
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:117
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:114
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:113
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记