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掺钛铝酸锂晶片的制备方法

1111   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 21:32:16
一种用于GaN基衬底的掺钛铝酸锂晶片的制备 方法，包括下列步骤：①采用提拉法生长含有四价钛的掺钛铝 酸锂晶体，即 Ti4+ : LiAlO2；②制片：将晶体切片并在富锂的气氛中利用气相传 输平衡法进行处理。经测试，该 Ti4+ : LiAlO2晶片的热稳定性和抗水解性能明显优于纯铝酸锂晶 片，是一种质量较高，尺寸较大的适用作GaN基衬底的掺钛 铝酸锂晶片。
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