本发明公开了一种热调偏置硅铌酸锂混合集成调制器及制备方法,可以高效地利用硅材料固有的高热光系数,实现一个高集成度、高稳定性的偏置点控制,在调制器方面保留了混合集成将硅高折射率、易于集成和铌酸锂高电光系数、线性高速远距离调制相结合的优点,相比较传统的利用铌酸锂普克尔斯效应的直流偏压控制偏置点具有更好的稳定性。
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