本发明公开一种薄膜铌酸锂调制器,涉及光通信器件领域。该薄膜铌酸锂调制器包括光学结构和电学结构。光学结构基于X切薄膜铌酸锂材料,包括:输入波导、分束器、波导臂、合束器、输出波导;波导臂包含常规波导区和调制波导区。电学结构包括地‑信号‑信号‑地电极组成的行波电极结构,包含信号输入区、调制电极区、匹配电阻区,采用差分驱动。本发明的薄膜铌酸锂调制器利用差分驱动,提高了调制效率,减小了电压‑长度积,为调制器的小型化和高度集成化提供了解决方案。
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