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基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器

686   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:30:57
本实用新型公开了基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，通过对电极形状、电极尺寸、压电材料取材、厚度等方面的优化设计，减小了横波寄生模式的影响，使得谐振器仅工作在剪切波模式下，提高了谐振器的品质因数；在双抛高阻硅片的一个表面先后沉积保护层、牺牲层材料，再将衬底化学机械抛光；通过离子注入与晶圆键合的方法，将铌酸锂薄膜转移到该抛光的衬底上面，然后利用剥离工艺在铌酸锂薄膜表面溅射金属叉指电极；最后利用干法刻蚀或者湿法腐蚀的办法去掉牺牲层；随后将这一面保护起来，在另一面重复之前的生长，除去保护层后获得成品器件；进而提高了谐振器的机械强度与可靠性，可适用于谐振器的大规模制造。
声明：
“基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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