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实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置

733   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 21:29:38
本发明涉及氧化锌制备技术领域,具体涉及一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置,为提供一种在弱氧化性或真空和较低温度的外部环境下实现ZnO:Li材料中富余间隙掺杂锂原子的氧化脱除方法,本发明提供一种实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火装置,包括高压釜、一氧化氮气体供应装置、真空泵和气路管道;同时,本发明还提供一种基于上述退火装置实现氧化锌间隙锂去除的工艺,该工艺可以在一个相对弱氧化性以及较低温的环境中脱除氧化锌掺Li薄膜材料中的间隙Li原子,避免了强氧化气氛中锌空位的重新生成,造成材料p型转变的失败;同时在这种热力学条件下,已经形成的替位Li是稳定的。
声明:
“实现氧化锌间隙锂去除的一氧化氮退火工艺及其装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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