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铝酸锂晶片的氮化方法

989   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:28:40
一种铝酸锂晶片的氮化方法,该方法的具体工艺包括:将经过化学机械抛光的具有较好表面的铝酸锂晶片放入马弗炉的石英管或钢管中,打开氮化源气路,调节气压至超过大气压0.005-0.05MPa并在石英管流动;马弗炉按100℃/小时的升温速率升温至800-1000℃,保温5-25分钟,然后按照100℃/小时的速率降温至室温;从马弗炉取出氮化的铝酸锂晶片。经本发明方法处理后,提高了化学机械抛光后的铝酸锂晶片的热稳定性和表面质量。
声明：
“铝酸锂晶片的氮化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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