合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 氮化硅‑铌酸锂异质集成波导器件结构及制备方法

氮化硅‑铌酸锂异质集成波导器件结构及制备方法

1093   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:27:39
本发明涉及一种氮化硅‑铌酸锂异质集成波导器件结构及制备方法，二氧化硅包覆层中的氮化硅波导和位于其上表面的铌酸锂薄膜异质集成脊形波导，并在铌酸锂薄膜上表面放置行波电极。氮化硅波导与其上表面的铌酸锂薄膜交叉耦合，在行波电极上外加高速电信号，对通过铌酸锂薄膜的光波的相位进行控制，实现加载电信号的振幅调制到光信号的相位调制的转换。三维垂直集成设计，使芯片集成更紧凑，节省空间，同时降低光波导的插入损耗，可望实现100G的光调制速率，实现光波在铌酸锂薄膜中被高速调制并经氮化硅波导低损耗传播的特性，完成性能优异的光调制。其制作工艺与半导体加工工艺兼容，调制效率高，能耗低，在光信号处理等领域中具有重要的应用前景。
声明：
“氮化硅‑铌酸锂异质集成波导器件结构及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：高功率锂离子动力电池
下一个：石墨烯锂离子电池电解液

与 “氮化硅‑铌酸锂异质集成波导器件结构及制备方法” 相关技术

▪ 勘测地质用探入式矿石分析仪
▪ 硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪ 深部矿产资源勘查分析装置
▪ 地质钻探取管装置及取管方法
▪ 固体催化剂催化硫代硫酸盐浸金的方法
▪ 难选铜钴混合矿的选矿分离方法
▪ 连续熔渣缓冷余热回收系统及方法
▪ 金属蒸气冷凝结晶物的收集装置
▪ 工程化钠金属负极：应对钠硫电池中硫衍生物挑战
▪ 含铅工业污泥电渗透脱水减量调理电化学高级氧化法

相关加工设备推荐

碳纤维连续热处理设备
滚珠丝杆油 导轨润滑脂
行星式搅拌机
立轴混凝土搅拌机
高温石墨化装备【粉末材料改性处理装备】
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪勘测地质用探入式矿石分析仪
▪硫化铜镍矿矿石品位快速确定装置及其方法
▪深部矿产资源勘查分析装置
▪地质钻探取管装置及取管方法
▪固体催化剂催化硫代硫酸盐浸金的方法
▪难选铜钴混合矿的选矿分离方法
▪连续熔渣缓冷余热回收系统及方法
▪金属蒸气冷凝结晶物的收集装置
▪工程化钠金属负极：应对钠硫电池中硫衍生物挑战
▪含铅工业污泥电渗透脱水减量调理电化学高级氧化法

报名参会
更多+

特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:221
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:116
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:112
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记