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铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器

1053   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:22:01
本发明公开了一种铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器，包括双Y分支光波导相位调制器芯片，所述双Y分支光波导相位调制器芯片包括衬底、二氧化硅层、光波导层和保护层，所述保护层上设有调制电极；所述光波导层包括铌酸锂薄膜层和铌酸锂脊形光波导，所述铌酸锂脊形光波导形成双Y分支光波导结构，两个所述Y分支光波导通过基波导连接，所述基波导的两侧设有辐射区。本发明中，在基波导的两侧设置辐射区，有效消除了辐射模在光路中耦合形成的串扰和噪声问题。另外，基波导采用直线结构，无需进行弯曲波导设计，因而能够使光波导的双Y分支结构以及基波导区域的尺寸大大减小，进而实现双Y分支光波导相位调制器的小型化。
声明：
“铌酸锂薄膜双Y分支光波导相位调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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