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基于锂掺杂透明氧化物的突触型薄膜晶体管及其制备方法

962   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:21:59
本发明涉及一种基于锂掺杂透明氧化物的突触型薄膜晶体管的制备方法，其包括：S1、提供衬底，对衬底进行清洗和亲水处理；S2、利用水溶液法，在衬底的一表面制备锂掺杂透明氧化物绝缘层；S3、对锂掺杂透明氧化物绝缘层亲水处理；S4、利用水溶液法，在锂掺杂透明氧化物绝缘层上制备氧化物半导体层；S5、利用热蒸发工艺，在氧化物半导体层上制备源电极和漏电极；S6、利用热蒸发工艺，在衬底远离锂掺杂透明氧化物绝缘层的一侧制备栅电极，该制备方法环保，低温，可大面积制备，制备中较低的温度使得制作流程简单高效，可大幅减少制备时长，制备成本较低且使得绝缘层具有空位缺陷，同时，绝缘层中掺杂了锂离子，使得器件具有很好的突触器件特性。
声明：
“基于锂掺杂透明氧化物的突触型薄膜晶体管及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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