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铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法

883   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:20:55
本申请公开了一种铌酸锂薄膜电光调制器，所述铌酸锂薄膜电光调制器包括衬底晶片(1)、铌酸锂薄膜基板(2)、铌酸锂光波导(3)、铌酸锂薄膜内衬(4)、行波电极(5)、保护层(6)和引出电极(7)，通过改进一般设计中电光调制器中的行波电极结构，将金属电极(5)部分区域覆盖在刻蚀区域，部分覆盖在铌酸锂薄膜内衬(4)上，在电极间距相同的情况下，增加了微波的有效折射率，从而实现波速匹配，提高电光调制器带宽。本申请还提供一种铌酸锂薄膜电光调制器的制备方法，基于本方案中的行波电极结构，直接对铌酸锂薄膜进行刻蚀得到需要的波导结构，减小刻蚀区域，降低工艺难度和成本。
声明：
“铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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