本发明提供一种制备亚微米周期任意极化图案铌酸锂微盘腔的方法,其包括以下步骤:步骤一,生成带下电极的铌酸锂薄膜;步骤二,在铌酸锂薄膜上制备微盘腔掩模图案;步骤三,对样品进行反应离子束刻蚀,形成铌酸锂微盘;步骤四,在铌酸锂微盘上构造任意图案的极化结构;步骤五,对样品进行金属层和二氧化硅层刻蚀,形成边缘悬空的周期极化铌酸锂微盘腔。该发明操作简单,精度高,可实现具有小周期任意极化图案的铁电晶体微腔的制备。
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