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紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法

871   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:53
本发明公开了紫外感光铌酸锂溶胶的制备方法，以Nb(CH3CH2O)5、CH3COOLi·2H2O、苯酰丙酮、无水乙醇、丙烯酸按一定的摩尔比例制成，随后添加无水乙醇调节至金属总离子浓度为0.3～0.5mol/L，即可得到感光LiNbO3溶胶；本发明还公开了使用紫外感光铌酸锂溶胶制备薄膜微细图形的方法，利用感光LiNbO3溶胶，通过浸渍提拉法在基板上制备凝胶薄膜，随后依次经干燥、曝光、溶洗、热处理，即得LiNbO3薄膜微细图形。本发明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝胶膜光刻，无需其他辅助工艺，即可制备大面积微细图形；浸渍提拉法获得紫外感光LiNbO3凝胶薄膜，薄膜厚度易控制，可获得较大尺寸凝胶膜，制备的LiNbO3微细图形线条光滑，结构规整，薄膜没有污染，性能稳定。
声明：
“紫外感光铌酸锂溶胶及其薄膜微细图形的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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