本申请涉及传感器的技术领域,尤其是涉及一种基于铌酸锂薄膜的片上集成三轴陀螺组件,其包括发光单元、铌酸锂薄膜
芯片和尾纤单元;所述发光单元与所述铌酸锂薄膜芯片耦合,所述铌酸锂薄膜芯片与所述尾纤单元耦合;所述发光单元用于发射光波;所述铌酸锂薄膜芯片用于对所述光波进行分束、调制及探测;所述尾纤单元用于所述光波传播。本申请具有减小三轴陀螺的体积的效果。
声明:
“基于铌酸锂薄膜的片上集成三轴陀螺组件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)