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锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄膜及其制备方法

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:05:42
本发明提供了一种锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄 膜及其制备方法，属于氧化物陶瓷薄膜材料技术领域，适用于 介电薄膜材料。本发明的陶瓷薄膜化学式为： LixTiyNi1－x－yO，其中：x为 0.05～0.5，y为0.02～0.2。采用溶胶－凝胶法制备前驱体溶液， 使用匀胶机制备薄膜，其价格低廉，锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷 薄膜材料是一种新型的无铅电介质薄膜材料，性能稳定。锂钛 共掺杂氧化镍陶瓷薄膜材料具有高的介电常数，频率为 1000Hz，ε＞100，适合各种高介电常数薄膜器件的要求，在 电介质领域，可用于制造薄膜电容器和动态随即存取存储器 DRAM。
声明：
“锂钛共掺杂氧化镍基陶瓷薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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