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基于铌酸锂薄膜的光电器件及其制备方法

852   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:04:24
本申请提供一种基于铌酸锂薄膜的光电器件的制备方法，包括如下步骤：在铌酸锂薄膜上的涂布刻蚀图案中转层；对所述刻蚀图案中转层进行光刻、显影，得到要制作的波导的图案；继续刻蚀，在所述铌酸锂薄膜刻蚀出所述波导的图案。通过该制备方法制得的光电器件具有光传输一致性好，损耗低，集成度高的优点。本申请还提供一种基于铌酸锂薄膜的光电器件。
声明：
“基于铌酸锂薄膜的光电器件及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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