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铌酸锂光波导器件及其制备方法

778   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:03:49
本发明涉及一种铌酸锂光波导器件的制备方法，属于光通信技术领域。本发明引入新的包层结构，通过离子注入、旋涂BCB、键合、退火等工艺获得微米量级的铌酸锂薄膜光波导器件，工艺上利于脊型波导的制备，并且最终制备的光波导有效减少了传输损耗，增大光的束缚性；本发明选用BCB作为键合介质材料，常温下作为粘合剂，能够将铌酸锂薄膜与衬底有效结合在一起，退火后BCB固化，并作为波导包层，后续对铌酸锂薄膜的掩膜刻蚀工艺简便，也不会对铌酸锂薄膜造成损坏；铌酸锂的光折射率为2.2，大于BCB的折射率1.5并大于空气的折射率1，可以将光很好的约束在波导中，从而不需要进行质子交换即可实现优异的性能。
声明：
“铌酸锂光波导器件及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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