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具有保护层工具的整合的锂沉积

1016   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:59:45
在一实施方式中，公开了一种用于在能量储存装置中的锂金属的沉积和处理的整合处理工具。整合的处理工具可为卷材工具(web tool)。整合的处理工具可包括：卷对卷系统(reel‑to‑reel system)，该卷对卷系统用于经由下列的腔室来传送连续的材料片：用于将锂金属的薄膜沉积在连续的材料片上的腔室和用于将保护膜沉积在锂金属的薄膜的表面上的腔室。用于沉积锂金属的薄膜的腔室可包括：诸如电子束蒸发器的PVD系统、薄膜传送系统，或狭缝式沉积系统(slot‑die deposition system)。用于将保护膜沉积在锂金属膜上的腔室可包括：沉积夹层膜的腔室或用于将锂离子传导性聚合物沉积在锂金属膜上的腔室。
声明：
“具有保护层工具的整合的锂沉积” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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