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提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法

933   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:58:42
本发明提供一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法，其包括对镁锂合金基底预处理及在镁锂合金基底上制备类金刚石碳膜。主要工艺步骤：(1)将镁锂合金板材制成标准试样；(2)试样经砂纸打磨、抛光机抛光后，表面呈现镜面效果，再经去离子水、无水乙醇超声清洗，干燥后放入真空室；(3)达到本底真空度后，通入工作气体氩气(Ar)和氢气(H2)，在激励电场作用下激发成等离子态，然后在偏压条件下对镁锂合金表面进行刻蚀，构造微粗糙表面；(4)通入反应气体乙炔(C2H2)和四甲基硅烷(TMS)，沉积硅掺杂类金刚石碳膜(Si‑DLC)；(5)沉积结束后，经自然冷却后取出样品。通过本发明可以得到与镁锂合金基材具有良好结合力的类金刚石碳膜，进而提升镁锂合金表面耐磨强度，增长镁锂合金使用寿命。
声明：
“提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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