一种锰酸锂正极靶材的退火方法以及锰酸锂正极靶材。其中,退火方法包括:将烧结好的锰酸锂正极靶材放入真空退火炉内,抽真空至第一设定真空度,并保持第一设定时长,然后通氮气,使真空退火炉内的气压高于外部大气压,并保持第二设定时长,之后抽真空至第二设定真空度,并保持第三设定时长;在预设的气氛条件下按照预设的升温程序进行退火处理;抽真空至第三设定真空度,并保持第四设定时长,然后通氮气,使真空退火炉内的气压高于外部大气压,随炉缓慢冷却至室温,得到退火后的锰酸锂正极靶材。基于本发明所制备的锰酸锂正极靶材以及磁控溅射镀膜技术,制得的全固态薄膜
锂电池的接触面电阻明显降低,显著提高了电池的性能。
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