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光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置

710   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:43:47
本发明公开了一种光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层玻璃层、第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层，第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层形成铌酸锂-金-铌酸锂介质波导结构；所述的铌酸锂-金-铌酸锂为对称的铌酸锂介质波导结构；所述铌酸锂介质波导结构的中间层金层为周期光栅结构。这种等离子激元温度传感装置将亚波长尺度的表面等离子技术应用在温度传感领域提高了器件的适应性和灵敏度，弥补了微机电系统应用中温度传感器精度低、稳定性差、反应时间长的缺陷，特别是具有的纳米级尺寸可以为光电集成的发展提供关键器件。
声明：
“光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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