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金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法

724   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:43:47
本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该金属锂蒸发装置中包括：开孔组件，开孔组件包括针体支撑板、安装于针体支撑板且与蒸发孔一一对应的开孔针；当针体支撑板处于第一工位时，每一个开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发坩埚内以插入至蒸发坩埚内的金属锂内，当针体支撑板处于第二工位时，每一个开孔针自蒸发坩埚内脱离；用于驱动针体支撑板动作的第一驱动组件。开孔针插入锂块形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，节约升温时间，提高了金属锂蒸发的均匀性。
声明：
“金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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