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用于锂电池的氮化锡/硅负极材料及其制备方法

699   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:31:41
本发明属于新能源锂电池负极材料技术领域，具体的说，涉及一种用于锂电池的氮化锡/硅负极材料及其制备方法，所述的制备方法包括：(1)在片层状的多晶硅片表面喷涂碳化硅粉末，形成高度为5‑10μm的凸起结构；(2)在步骤(1)的多晶硅表面沉积形成纳米氮化锡薄膜；(3)施加包含四氟化碳、氮气和氩气的气体混合物形成的高密度等离子体蚀刻步骤(2)中的多晶硅表面，即得所述的氮化锡/硅负极材料；本发明提供的氮化锡/硅负极材料，通过喷涂在多晶硅片表面的碳化硅颗粒及沉积形成的纳米氮化锡薄膜形成了复合的骨架结构，结合碳化硅具有较小的热膨胀系数，导热性能良好，有效的减小了硅负极材料的体积效应。
声明：
“用于锂电池的氮化锡/硅负极材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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