合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 新能源材料技术

> 微纳3D打印方法及打印设备

微纳3D打印方法及打印设备

908   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 20:29:57
本发明实施例公开了一种微纳3D打印方法及打印设备,涉及新能源技术领域,能够实现ALD的原子级制造精度的同时,又能缓减ALD中的缺陷。本发明包括:将基底37放入腔体3内,启动真空泵35对腔体3抽真空;将等离子气体气源通入等离子体枪4,等离子气体在等离子体枪4内发生电离后,产生活性官能团自由基,对基底37表面进行活性官能团的接枝;激光头1按照打印图样照射扫描基底37的表面加热;通入第一前驱体源,激光头1照射步骤S3中形成的活性官能团图样,形成的第一前驱体源图样;通入第二前驱体源,激光头1照射步骤S4中形成的第一前驱体源图样,形成分子层的图样;激光头1照射步骤S5中形成的分子层图样去除杂质。本发明适用于微纳3D打印。
声明:
“微纳3D打印方法及打印设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
新能源
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记