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微纳3D打印方法及打印设备

971   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:29:57
本发明实施例公开了一种微纳3D打印方法及打印设备，涉及新能源技术领域，能够实现ALD的原子级制造精度的同时，又能缓减ALD中的缺陷。本发明包括：将基底37放入腔体3内，启动真空泵35对腔体3抽真空；将等离子气体气源通入等离子体枪4，等离子气体在等离子体枪4内发生电离后，产生活性官能团自由基，对基底37表面进行活性官能团的接枝；激光头1按照打印图样照射扫描基底37的表面加热；通入第一前驱体源，激光头1照射步骤S3中形成的活性官能团图样，形成的第一前驱体源图样；通入第二前驱体源，激光头1照射步骤S4中形成的第一前驱体源图样，形成分子层的图样；激光头1照射步骤S5中形成的分子层图样去除杂质。本发明适用于微纳3D打印。
声明：
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