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热分解制备二氧化硅钝化层的方法

1070   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:29:55
本发明属于新能源领域，具体涉及一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法。将偏硅酸、虫胶、稀释剂混合而成的粘稠状胶液均匀涂刷在扩散后的硅片表面并烘干，再将该硅片于高温的惰性气体环境中放置一段时间后，即完成硅片表面的钝化。虫胶在自身受热分解的过程中促进了偏硅酸分解所得的二氧化硅与硅片基底的相容程度，防止所生成的二氧化硅脱落，提高了钝化层的结合力和稳定性。
声明：
“热分解制备二氧化硅钝化层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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