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硅片切割液及其制备方法

703   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:25:16
本发明属于光电材料新能源技术领域，涉及一种硅片切割液及其制备方法。为了克服现有硅片切割液成本高昂，且对碳化硅微粉的分散和再分散能力较差的缺点，提供一种硅片切割液，包含76～80Wt％的二乙二醇，15～17Wt％的聚乙二醇、2～3.5Wt％的丙三醇、0.5～1.5Wt％的脂肪醇聚氧乙烯醚、0.7～1.2Wt％的去离子水、0.2～0.5Wt％的消泡剂、0.2～0.5Wt％的分散剂及0.1～0.3Wt％的抗氧剂。由于其主要原料为二乙二醇，制备工艺简单，易于操作，成本低廉，有效提高碳化硅微粉的分散性和再分散性，确保了浆料的稳定性和持久性，且具有很好的润滑效果，有效降低切割时的表面损失，提高切割良率。本发明适用于硅片切割工艺。
声明：
“硅片切割液及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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