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硅片切割液及其制备方法

797   编辑:管理员   来源:中冶有色网  
2023-03-18 20:25:16
本发明属于光电材料新能源技术领域,涉及一种硅片切割液及其制备方法。为了克服现有硅片切割液成本高昂,且对碳化硅微粉的分散和再分散能力较差的缺点,提供一种硅片切割液,包含76~80Wt%的二乙二醇,15~17Wt%的聚乙二醇、2~3.5Wt%的丙三醇、0.5~1.5Wt%的脂肪醇聚氧乙烯醚、0.7~1.2Wt%的去离子水、0.2~0.5Wt%的消泡剂、0.2~0.5Wt%的分散剂及0.1~0.3Wt%的抗氧剂。由于其主要原料为二乙二醇,制备工艺简单,易于操作,成本低廉,有效提高碳化硅微粉的分散性和再分散性,确保了浆料的稳定性和持久性,且具有很好的润滑效果,有效降低切割时的表面损失,提高切割良率。本发明适用于硅片切割工艺。
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