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全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法

1030   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:23:46
一种全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法，属于新能源材料与器件技术领域。首先，清洗去除衬底表面的杂质；然后在衬底表面沉积一层具有高致密度、高导电性的TiN薄膜作为电子输运集流体材料，再通过调控沉积工艺参数改变薄膜表面原子扩散和形核生长等机制，在集流体上直接继续生长一层疏松多孔、低导电性的TiN薄膜作为电极材料。本发明集流体和电极同为TiN连续生长，通过简单地改变薄膜沉积工艺参数对材料的性能进行剪裁，工艺简便易行、成本低，薄膜沉积技术选择种类多、工艺适用性强，解决了异类集流体和电极材料间附着力差、晶格失配和热膨胀系数差异导致分层开裂以及接触电阻大的问题，将极大提高超级电容器的功率密度、热稳定性和长期服役可靠性。
声明：
“全氮化钛集流体/电极超级电容器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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