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用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备

864   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:18:18
本发明实施例公开了一种用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备，涉及新能源技术领域，能够克服在传统湿法制造工艺中的缺陷，以便于推进量子点产业化和大规模应用。本发明包括：将样品(2)放入石英腔体(26)内，启动真空泵(24)对石英腔体(26)抽真空，向石英腔体(26)输入‑SeH有机物气体作为‑SeH等离子气体源，启动激光加工头(1)扫描样品(2)的表面，向石英腔体(26)输入驱体气体，并启动激光加工头(1)扫描样品(2)的表面进行加热，向石英腔体(26)输入Se源前驱体，启动激光加工头(1)加热样品(2)的表面，使表面吸附的源前驱体与输入的Se源前驱体发生化学反应，生成量子点阵列。本发明适用于硒化物量子点制造。
声明：
“用于硒化物量子点的绿色制造方法及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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