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晶界调控n型碲化铋薄膜性能的方法

1000   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:13:35
一种晶界调控n型碲化铋薄膜性能的方法，涉及一种热电材料调控方法，属于新能源材料领域，本发明方法解决现有技术中晶界结构和化学性质随着温度、压力和化学势等热力学参数的变化产生不连续地变化等问题。该方法包括以下过程：第一步以商用Bi2Te3靶和Te靶为靶材，采用磁控溅射技术在加热基底上制备n型Bi2Te3薄膜。第二步以商用Sn为原料，采用蒸发技术，在n型Bi2Te3薄膜的表面镀上Sn。第三步采用保护气退火炉对镀Sn后的n型Bi2Te3在高温下退火后，随炉冷却，以获得高性能的n型Bi2Te3薄膜。本发明方法为低温发电微型器件的性能优化提供高性能、低成本、设备简单、工艺简单、操作易控、性能均匀、稳定的优化工艺方案。
声明：
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